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真空系统对于阀门的要求

发布时间:2021-01-13浏览次数:载入中...
对大多数真空系统来说,真空阀门应具有以下性能。

1、防锈性
在与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此采用铝合金,铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。
2、工作压力范围在0~2.5×105Pa
对较宽的压力范围,会使产品的使用面更广,而且阀板的密封建议是双向的,至少阀板在反顶大气压时也可密封。
3、低漏率
在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率,对降低生产成本非常有效。
4、起动时,震动低,对系统冲击小。
5、结构紧凑,重量轻
6、明显的阀位指示
7、可选配加装阀门启闭信号控制器,便于编程自动化控制。
8、高流导
9、采用波纹管作为位移的动密封
无动态漏气,无油脂污染,可靠性高,相对橡胶密封,可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。
10、真空部分尽量避免采用真空脂。
11、尽量减少真空部件内的无用空间,以保证真空获得的时间更少。
12、尽可能的减少功耗
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