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真空镀膜设备的正常工作条件以及保养方法有哪些?跟着光润来看看

发布时间:2019-07-30 浏览次数:载入中...

真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。那么,真空镀膜设备的正常工作条件以及保养方法有哪些?跟着光润一起来看看吧!


一、真空镀膜设备的正常工作条件


1、环境温度:10~30℃


2、相对湿度:不大于70%


3、冷却水进水温度:不高于25℃


4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水


5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;


6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。


7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。


此外,真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。

真空镀膜


二、真空镀膜设备的维修及保养方法


1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。


方法:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。


2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。


方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。


3、在重新开机前,要注意检漏。


扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。


方法:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。


无锡光润真空科技有限公司(简称“光润真空”)是从事研发、设计、销售、制造、服务真空镀膜设备于一体的综合性科技公司。以上就是光润真空分享的真空镀膜设备的正常工作条件以及保养方法有哪些?想要了解更多欢迎关注我司官网。


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